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J-GLOBAL ID：200903069185242477
塗布装置及び塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置及び製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997337290
Publication number (International publication number)：1999169769
Application date： Dec. 08, 1997
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】タテスジむらや膜切れと称すタテスジ欠陥の発生を防止し、塗布厚み精度が悪化することなく塗布速度の高速化が実現できる塗布装置の提供。【解決手段】該塗布液供給手段からの塗布液の供給を受けて一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出する塗布器と、該塗布器及びそれに対向する位置に配置された被塗布枚葉部材の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを具備し、前記塗布器は、前記被塗布枚葉部材の相対的な進行方向でみた場合、進行方向側に位置するフロントリップと、前記進行方向とは反対側に位置するリアリップと、前記両リップ間に形成されるリップ間隙とを有しているとともに、前記両リップはそれぞれ、少なくとも前記リップ間隙を形成する接液面と、該接液面に連なり前記被塗布枚葉部材に対向するリップエッジ面とを有する塗布装置。
Claim (excerpt)：
塗布液を供給する手段と、該塗布液供給手段からの塗布液の供給を受けて一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出する塗布器と、該塗布器およびそれに対向する位置に配置された被塗布枚葉部材の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを具備し、前記被塗布枚葉部材の表面に塗布液の塗膜を形成する塗布装置であって、前記塗布器は、前記被塗布枚葉部材の相対的な進行方向でみた場合、進行方向側に位置するフロントリップと、前記進行方向とは反対側に位置するリアリップと、前記両リップ間に形成されるリップ間隙とを有しているとともに、前記両リップはそれぞれ、少なくとも前記リップ間隙を形成する接液面と、該接液面に連なり前記被塗布枚葉部材に対向するリップエッジ面とを有し、a)前記フロントリップエッジ面の前記進行方向に沿った長さLFが0.5mm以下であり、b)前記フロントリップエッジ面の前記リップ接液面へと繋がる吐出口側端部Efが、前記リアリップの前記リップ接液面へと繋がる吐出口側端部Erよりも、ΔHだけ前記被塗布枚葉部材方向へ突出した位置にあることを特徴とする塗布装置。
IPC (4)：
B05C 5/02
, B05D 1/26
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16
B05C 5/02
, B05D 1/26 Z
, G02B 5/20 101
, G03F 7/16
Cited by examiner (6)
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