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J-GLOBAL ID：200903069252871816

収差自動補正方法及び装置

Inventor：
宇野 忍

About 宇野 忍


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (2)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003419857
Publication number (International publication number)：2005183085
Application date： Dec. 17, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：
【課題】 本発明は収差自動補正方法及び装置に関し、オペレータが複雑な収差補正の手順を意識することなく、簡単に自動補正することができる収差自動補正方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】 試料をビームで走査して得られた画像データを記憶するメモリ35と、該メモリ35に記憶されている画像データを読み出して四辺ぼかし処理を行なう四辺ぼかし器24と、四辺ぼかし器24により四辺ぼかし処理を行なった画像データからプローブ形状を抽出するプローブ形状抽出手段25と、抽出されたプローブ形状からラインプロファイルを抽出するラインプロファイル抽出器28と、抽出されたラインプロファイルに対して特徴量抽出、収差算出、収差補正判断、フィードバック量設定を行なう補正量算出手段40と、該補正量算出手段40で得られたフィードバック量に基づき、収差補正器を補正する補正手段33と、を具備して構成される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
試料を荷電粒子ビームで走査して得られた画像データを一旦メモリに記憶し(ステップ1)、 該メモリに記憶されている画像データを読み出して四辺ぼかし処理を行ない(ステップ2)、 四辺ぼかし処理を行なった画像データからプローブ形状を抽出し(ステップ3)、 抽出されたプローブ形状からラインプロファイルを抽出し(ステップ4)、 得られたラインプロファイルに対して特徴量抽出、収差算出、収差補正判断、フィードバック量設定を行ない(ステップ5)、 得られたフィードバック量に基づき、収差補正器を補正する(ステップ6)、 ことを特徴とする収差自動補正方法。
IPC (2)：
H01J37/22 ,  H01J37/153
FI (2)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/153 B
F-Term (2)：
5C033JJ02 ,  5C033JJ03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 幾何光学収差を決定する方法
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-555115   Applicant：ツェーエーオーエスコレクテッドエレクトロンオプチカルシステムズゲーエムベーハー, 日本電子株式会社
Cited by examiner (3)

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