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J-GLOBAL ID：200903069319940036

カラーフィルタ製造装置

Inventor： 宮本 昌祐 ,  高橋 俊二 ,  井之上 信博
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Agent (1)： 津川 友士
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068811
Publication number (International publication number)：1995281171
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 カラーフィルタ製造処理に当って、高稼働率の維持、作業効率の向上、加工不良品の発生の低減、高収率化を達成する。【構成】 カラーフィルタ製造装置を構成する工程のうち、少なくとも2つの工程1,2を連続させ、各工程1,2の所定位置にインライン検査装置1c,2bおよび不良品抜き取り装置1d,2cを配置した。

Claim (excerpt)：

カラーフィルタを製造するための、ブラックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス膜形成装置、色の3原色の各色のパターン加工を行なうパターン加工装置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコート塗布装置を含むカラーフィルタ製造装置であって、所定位置に、インライン検査装置(1c)(2b)および不良品抜き出し装置(1d)(2c)をこの順に配置してあることを特徴とするカラーフィルタ製造装置。

IPC (2)：

G02F 1/1335 505 ,  G02B 5/20 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 基板の自動処理装置および自動処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-307017   Applicant：出光興産株式会社
• カラーフィルタの残査除去方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-044430   Applicant：大日本印刷株式会社
• 特開昭63-282007