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J-GLOBAL ID：200903069375189858

液体薬品中の砒素の定量分析法

Inventor： 武田 直樹 ,  佐々木 茂 ,  竹田 菊男
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社 ,  株式会社住化分析センター
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997259779
Publication number (International publication number)：1999101780
Application date： Sep. 25, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 液体薬品中の砒素の定量分析法であって、特に電子工業分野等で使用される高純度薬品中に含有される100〜0.1重量ppt程度の極微量の砒素をも正確に定量し得る液体薬品中の砒素の定量分析法を提供する。【解決手段】 液体薬品中に存在する砒素を誘導結合プラズマ質量分析法により定量分析する方法であって、分析に供する液体薬品に硝酸を添加して加熱濃縮した後、定量分析する液体薬品中の砒素の定量分析法。

Claim (excerpt)：

液体薬品中に存在する砒素を誘導結合プラズマ質量分析法により定量分析する方法であって、分析に供する液体薬品に硝酸を添加して加熱濃縮した後、定量分析する液体薬品中の砒素の定量分析法。

FI (2)：

G01N 27/62 V ,  G01N 27/62 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 分析試料の調製方法、不純物の分析方法及び高純度燐酸の調製方法ならびに半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-064635   Applicant：富士通株式会社
• 分析方法および分析用分解・乾固装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-083581   Applicant：信越石英株式会社