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J-GLOBAL ID:200903069500269788
着磁鉄系異物の除去装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
富崎 元成 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000395670
Publication number (International publication number):2002195212
Application date: Dec. 26, 2000
Publication date: Jul. 10, 2002
Summary:
【要約】【課題】バーマグネットチューブで補足・吸着した金属異物をきわめて簡単な構造で除去、清掃する。【解決手段】バーマグネットチューブ1の外周に鉄系異物Cが付着すると、空気流出入口9から加圧空気を注入すると、バーマグネットチューブ1はシリンダ4内に引き込まれる。バーマグネットチューブ1の磁力線は除去リング20によって、短絡されて、磁力線は磁性体である除去リング20に流れる。短絡されたスペーサ16は磁力を失い、バーマグネットチューブ1の外周に付着した鉄粉等の鉄系異物Cは除去リング20の磁性体の磁化によって、除去リング20の前端面に移り、マグネットチューブ1から取り除かれる。
Claim (excerpt):
チューブの軸線方向に永久磁石であるマグネット要素と磁性体であるスペーサを交互に配置し、かつ、前記マグネット要素の同極が対向して反発するように並べられて前記チューブに内装されているバーマグネットチューブの着磁鉄系異物の除去装置であって、前記バーマグネットチューブに設けられたピストンと、前記ピストンを挿入しシリンダ駆動機構を構成するシリンダと、前記ピストンと前記シリンダにより区画された室に流体を流出入させる流出入口と、前記シリンダに配置され、内周孔の直径が前記バーマグネットチューブの前記チューブの外径より大きくリング構造を有し磁性材料から成るリングとからなることを特徴とする着磁鉄系異物の除去装置。
IPC (3):
F15B 15/14 350
, B03C 1/00
, B03C 1/28
FI (3):
F15B 15/14 350
, B03C 1/00 A
, B03C 1/28
F-Term (7):
3H081AA03
, 3H081BB02
, 3H081BB03
, 3H081CC08
, 3H081DD13
, 3H081EE29
, 3H081HH10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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バーマグネット及びマグネットフィルタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-144664
Applicant:株式会社マグネテックジャパン
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往復直動装置とこれを用いた半導体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-027069
Applicant:富士通株式会社
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