Pat
J-GLOBAL ID:200903069516393497

制御装置、温度調節器および熱処理装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岡田 和秀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001099003
Publication number (International publication number):2002297245
Application date: Mar. 30, 2001
Publication date: Oct. 11, 2002
Summary:
【要約】【課題】外乱応答に対するオーバーシュート量を調整できるようにすることを目的とする。【解決手段】 外乱の印加によって低下した検出温度の最下点温度T1を初期温度として目標温度に徐々に近づくように、温度制御手段に対する目標温度を変更し、この変更の度合いを調整パラメータで設定できるようにしている。
Claim (excerpt):
検出手段からの検出値と目標値との偏差に基づいて、操作信号を出力する制御手段と、外乱の印加に応答して、前記検出手段の検出値を初期値として前記目標値へ徐々に近づくように前記制御手段への目標値を変更する目標値変更手段と、を備えることを特徴とする制御装置。
IPC (3):
G05D 23/19 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324
FI (3):
G05D 23/19 J ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 T
F-Term (14):
5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045GB05 ,  5F045GB15 ,  5H323BB05 ,  5H323BB06 ,  5H323CA06 ,  5H323EE06 ,  5H323FF01 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323MM06 ,  5H323NN14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)

Return to Previous Page