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J-GLOBAL ID：200903069538518366

マイクロ電気機械システムスイッチ

Inventor： ジョン ジェイ ベレンス ,  ジョージ ダブリュー マッキーヴァー ,  アルフレッド イー リー
Applicant, Patent owner： ティアールダブリュー インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998194082
Publication number (International publication number)：1999144596
Application date： Jul. 09, 1998
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】RFスイッチを、アレイ状に構成可能なマイクロ電気機械スイッチとして形成し、マイクロ電気機械スイッチアレイを形成する。【解決手段】MEMSを回路基板上に形成する。回路基板により回転可能に支えられたピンでピボット点を決める。剛体ビーム又は伝送線路の中心部をピン上に置き、シーソーを形成する。剛体ビームとシーソーにより信頼性低下要因のビームへの捻れと曲げの力が除かれる。スイッチは、例えばHBTとHEMTでできた他のモノリシックマイクロ波集積回路に集積されるようになっており、適当なポリマー層例えばポリイミドでそうした回路と分離させることで、他の回路とモノリシックに集積できる。ビームを全て金属で作れば、スイッチの挿入損失が二酸化珪素や混合金属の接点を使う場合より減り、スイッチ感度が上がりRFスイッチング製品に使用できる。

Claim (excerpt)：

RFスイッチにおいて、回路基板と、ピボット点を形成する前記回路基板により回転可能に支えられるピンと、前記ピボット点に置かて第一位置と第二位置の間に前記ビームが回転可能させるビームと、前記回路基板と前記ビームにより支えられる少なくとも一対の電気的接点と、前記第一位置と前記第二位置の間で前記ビームを回転させる静電気力を印可電圧の関数の形で作り出すために所定の電圧を受け取る少なくとも一つの界磁プレートとを含むことを特徴とするRFスイッチ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 微細電気機械スイッチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-082436   Applicant：ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
• 可動片ブロック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-286647   Applicant：オムロン株式会社