プラズマエッチング用電極板

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小島清路
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993220712
Publication number (International publication number)：1995058086
Application date： Aug. 11, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】黒鉛製プラズマエッチング用電極板の耐磨耗性を高める。【構成】等方性で高密度かつ高純度の黒鉛基材を反応容器の台に載置し、低圧にした後、950°Cに加熱し、容器内に反応ガスとして高純度水素ガス及びメタンガスを導入して4kPaとする。そして電極間に2.45GHz,400Wのマイクロ波を加えて放電プラズマを発生させ、ガスを反応させる。このようにして3時間反応させることにより、黒鉛基材上にダイヤモンド被膜が約15μm析出する。ダイヤモンド被膜された黒鉛板を、プラズマエッチング用電極板として用いることにより、黒鉛製のプラズマエッチング用電極板に比べて耐磨耗性が改善され、使用時間が約2倍に増加した。また、エッチング用電極板からの粒子の脱落も低減され、半導体ウエハのエッチング歩留りも向上した。

Claim (excerpt)：

等方性で高密度かつ高純度の黒鉛板の表面にダイヤモンド被膜を設けたことを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (4)：

H01L 21/3065 , C04B 41/87 , C23F 4/00 , C30B 29/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

プラズマエツチング用電極板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-271611 Applicant：日立化成工業株式会社

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