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J-GLOBAL ID:200903069610926601
壁状構造体及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
廣田 浩一 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002363847
Publication number (International publication number):2003287888
Application date: Dec. 16, 2002
Publication date: Oct. 10, 2003
Summary:
【要約】【課題】 高アスペクト比で、安価で製造可能なパターン構造体等の提供。【解決手段】 配向軸を有する配向分子が配向軸方向に配向されてなり、該配向分子が、重合性官能基を有する化合物を重合させて得られることを特徴とする壁状構造体である。配向分子の配向軸に対する配向パラメーターが、0.5以上である態様、水平面上に配置され、該水平面と交差し、且つ、互いに対向する壁面を有してなり、該水平面と垂直方向であって、且つ、前記対向する壁面と交差する平面で切断してなる断面における、前記対向する壁面のうち少なくとも一方の長さをAとした時、該水平面から1/2Aの長さの位置における該壁面上の接線と前記水平面とのなす角度が、85〜95度である態様等が好ましい。
Claim (excerpt):
配向軸を有する配向分子が配向軸方向に配向されてなり、該配向分子が、重合性官能基を有する化合物を重合させて得られることを特徴とする壁状構造体。
IPC (5):
G03F 7/027 502
, B81B 1/00
, B81C 5/00
, H01J 9/02
, H01J 11/02
FI (5):
G03F 7/027 502
, B81B 1/00
, B81C 5/00
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
F-Term (28):
2H025AA03
, 2H025AB14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC83
, 2H025BD23
, 2H025BJ10
, 2H025CA00
, 2H025EA03
, 2H025FA15
, 5C027AA09
, 5C027AA10
, 5C040FA10
, 5C040GF02
, 5C040GF03
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA15
, 5C040KA16
, 5C040LA14
, 5C040MA22
, 5C040MA26
Patent cited by the Patent:
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