Pat
J-GLOBAL ID:200903069701856096
研磨テープ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
竹内 澄夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997330806
Publication number (International publication number):1999151651
Application date: Nov. 17, 1997
Publication date: Jun. 08, 1999
Summary:
【要約】【課題】磁気ハードディスク基板の微細な表面粗さ(Ra)を得ることができ、さらにヘッドヒットなどの問題を引き起こさないようにテクスチャー加工を行うことのできる研磨テープを提供する。【解決手段】本発明の研磨テープは、内部に気泡空隙が形成された発泡基材および裏当て部材から成り、発泡基材は、第一の表面近くの気泡空隙が露出し、第二の表面が接着剤により前記裏当て部材上に接着される。発泡基材は好適には、厚さが0.1〜0.5mmであり、ショアー硬度が20〜50度であり、温度が20度で湿度が65度のときの圧縮率が5〜40%、圧縮弾性率が70〜100%である発泡ポリウレタンフォームである。【効果】本発明の研磨テープは、発泡基材が弾力性を有するため、ディスク表面に押しつけられる砥粒の高さが等しくなり、実質的にばらつきのない均一な研磨粒を使用したのと同じ効果が得られ、微細な表面粗さ(Ra)を得ることができる。また、発生した削り屑を気泡空隙に取り込みながら加工を行うため、削り屑によりディスク表面を傷つけることがない。
Claim (excerpt):
研磨テープであって、内部に気泡空隙が形成された発泡基材、および裏当て部材、から成り、前記発泡基材は、第一の表面近くの気泡空隙が露出し、第二の表面が接着剤により前記裏当て部材上に接着される、ところの研磨テープ。
IPC (4):
B24B 21/00
, B24D 11/02
, B24B 37/00
, B24D 11/00
FI (4):
B24B 21/00 B
, B24D 11/02
, B24B 37/00 C
, B24D 11/00 E
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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研磨用クロス及び研磨装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-127391
Applicant:ソニー株式会社
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特開昭62-236664
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磁気記録媒体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-301988
Applicant:三菱化学株式会社
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Cited by examiner (5)
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特開昭62-236664
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研磨用クロス及び研磨装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-127391
Applicant:ソニー株式会社
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シート状弾性発泡体及びそれを用いたウェーハ研磨加工用治具
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-203039
Applicant:信越半導体株式会社
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