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J-GLOBAL ID：200903069781348991
ポジ型感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996341792
Publication number (International publication number)：1998186662
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】 非画像部と画像部のディスクリミネーションが向上し、高感度と高解像力と良好なプロファイルとを有し、更に露光後加熱処理までの経時によるレジストパターンの細りが生じないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 (a)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(b)含水量1.7%以下であるフェノール性樹脂を原料として、該樹脂のフェノール性水酸基を、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基で保護された樹脂を含有するポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(a)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(b)含水量1.7%以下であるフェノール性樹脂を原料として、該樹脂のフェノール性水酸基を、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基で保護された樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
