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J-GLOBAL ID:200903070457045925

電解用電極及び該電極を使用する電解槽

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森 浩之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996106379
Publication number (International publication number):1997268395
Application date: Apr. 02, 1996
Publication date: Oct. 14, 1997
Summary:
【要約】【目的】 不純物が混入していない高純度の電解液や電解ガスを生成でき、かつ安定した電解操作を長期間継続できる電解用電極及び該電極を使用する電解槽を提供する。【構成】 電極基体、及び該電極基体表面に被覆した導電性ダイアモンド構造の電極物質とから成る陽極5を、その陽極室3内に設置した電解槽。前記陽極が導電性ダイアモンド構造の電極物質を含み、該電極物質が高い耐久性を有し、電解液中に溶解しないため、該電極が長寿命を有するとともに、半導体デバイスの洗浄等に適した高純度の電解液や電解ガスが生成する。
Claim (excerpt):
電極基体、及び該電極基体表面に被覆した導電性ダイアモンド構造の電極物質とを含んで成ることを特徴とする電解用電極。
IPC (2):
C25B 11/04 ,  C02F 1/46
FI (2):
C25B 11/04 ,  C02F 1/46 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 電気分解による廃水溶質の処理方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-320357   Applicant:イーストマンコダックカンパニー
  • 特開昭58-160860
  • 特開昭58-160860
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