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J-GLOBAL ID:200903070508800545

高純度β-ジケトネート鉛錯体およびその製法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992067440
Publication number (International publication number):1993271252
Application date: Mar. 25, 1992
Publication date: Oct. 19, 1993
Summary:
【要約】【目的】 CVD法によって薄層を形成するための原料として有用な、高純度なβ-ジケトネート鉛錯体を製造する。【構成】 無水メタノールにDPMとNaOHを溶解した溶液と、無水メタノールに酢酸鉛3水和物を溶解した溶液とを混合する。得られた沈澱物をろ別して、無水メタノール中で再結晶した後、真空乾燥する。図1中実線で示すように、熱重量分析によって測定される不純物蒸発量が0.01%未満、キレート蒸発量が99.5%以上で、元素分析による炭素含有量が理論量の99.0〜101.0%、水素含有量が理論量の99.0〜101.0%、ICP分析による鉛含有量が理論量の99.0〜101.0%である高純度なPb(DPM)2を得る。
Claim (excerpt):
鉛とβ-ジケトンからなる錯体であって、下記の特性、(1)熱重量分析によって測定される不純物気化量が0.01%未満であること、(2)熱重量分析によって測定されるキレート気化量が99.5%以上であること、(3)元素分析によって測定される炭素含有量が、理論量の99.0〜101.0%であること、(4)元素分析によって測定される水素含有量が、理論量の99.0〜101.0%であること、(5)ICP分析によって測定される鉛含有量が、理論量の99.0〜101.0%であることを有する高純度β-ジケトネート鉛錯体。
IPC (2):
C07F 7/24 ,  C23C 16/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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