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J-GLOBAL ID：200903070691726545

複合顕微鏡

Inventor： 八百 隆文 ,  吉村 雅満 ,  川見 浩
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 川瀬 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994156692
Publication number (International publication number)：1996005643
Application date： Jun. 14, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 探針と試料との間のトンネル電流により表面の凹凸を求める走査型トンネル顕微鏡と、探針と試料との間の容量を求め試料の電荷分布などを求める走査型静電容量顕微鏡と、カンチレバ-と試料原子との間の原子間力を求める原子間力顕微鏡の機能を一体化した複合顕微鏡を提供すること。【構成】 試料に対向し電流、容量、原子間力を求めるものとして、導電性のカンチレバ-を用いる。試料は圧電素子により三次元的変位ができるようにする。試料とカンチレバ-の間に直流バイアスを与えてトンネル電流を流し、これを電流検出回路により検出する。試料とカンチレバ-の間の静電容量を容量センサにより検出する。電流検出センサと、容量センサとは切り替えスイッチによって切り替えるようになっている。カンチレバ-の撓みを検出して原子間力を求めることができる。原子間力顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡として同時に機能させるか、あるいは原子間力顕微鏡と走査型静電容量顕微鏡として同時に機能させることができる。

Claim (excerpt)：

試料を戴置するための試料台と、試料台を上下方向と面方向に微小変位させるため試料台の下に取り付けられる圧電素子アクチュエ-タと、圧電素子アクチュエ-タに走査電圧を与え試料台を走査するための走査回路と、導電性であって一端が固定され他端が試料表面を走査するようにしたカンチレバ-と、試料台とカンチレバ-の間に直流電圧を印加しトンネル電流を測定する電流検出回路と、カンチレバ-と試料の間の容量を測定する容量センサ-と、容量センサ-と電流検出回路のいずれか一方をカンチレバ-に択一的に接続するための切り替えスイッチと、カンチレバ-の撓みを検出する撓み検出機構とを含むことを特徴とする複合顕微鏡。

IPC (6)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/14 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28