Pat
J-GLOBAL ID：200903070705031553

走査電子顕微鏡

Inventor：
鈴木 直正

About 鈴木 直正

, 
佐藤 貢

About 佐藤 貢

, 
熊田 隆雄

About 熊田 隆雄


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999331644
Publication number (International publication number)：2001147112
Application date： Nov. 22, 1999
Publication date： May. 29, 2001
Summary：
【要約】【課題】本発明は、このような問題点を鑑みてなされたもので、微小な素子であるにも関わらず、離間しているが故に倍率を低くして寸法測定を行わざるを得ない対象試料の測長を高精度に行うことを目的とするものである。【解決手段】本発明によれば、上記目的を達成するために第1に、電子線を試料上で走査し、当該試料で得られた二次信号に基づいて試料像を形成し、当該試料像に基づいて二点間の寸法測定を行う走査電子顕微鏡において、前記二点を結ぶ直線に対し、垂直な方向に前記試料像を伸ばして形成する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。
Claim (excerpt)：
電子線を試料上で走査し、当該試料で得られた二次信号に基づいて試料像を形成し、当該試料像に基づいて二点間の寸法測定を行う走査電子顕微鏡において、前記二点を結ぶ直線に対し、垂直な方向に前記試料像を伸ばして形成する手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
F-Term (11)：
2F067AA21 ,  2F067AA25 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR27 ,  2F067RR28 ,  2F067RR35 ,  2F067RR37
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 特開昭59-201351
  • 特開昭61-148312
  • 特開昭61-183863
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM