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J-GLOBAL ID：200903070742931211

マイクロレンズアレー原版およびマイクロレンズアレー作製方法

Inventor： 堀田 豪
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992109904
Publication number (International publication number)：1993303009
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】 大面積のMLA原版を容易に作製するとともに、大量のMLAを効率的に作製する。【構成】 金属板に塗布したフォトレジストをパターニングしてスプレーエッチングし、フォトレジストを剥離してマイクロレンズアレー原版を作製し、さらに作製したマイクロレンズアレー原版上にフォトポリマーを滴下して基板を積層し、紫外線照射または電子線照射によりフォトポリマーを硬化した後、マイクロレンズアレー原版から剥離することによりマイクロレンズアレーを作製することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

金属板に塗布したフォトレジストをパターニングする段階、パターニングされたフォトレジストをエッチング液でエッチングする段階、エッチング後フォトレジストを剥離する段階からなるマイクロレンズアレー原版作製方法。

IPC (2)：

G02B 3/00 ,  C23F 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光学部品の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-014744   Applicant：株式会社日立製作所
• マイクロレンズアレイの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-339981   Applicant：旭硝子株式会社