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J-GLOBAL ID：200903070804571403

光導波路の作製方法

Inventor： 広瀬 智財 ,  金森 弘雄 ,  浦野 章 ,  向後 隆司 ,  斉藤 真秀 ,  石川 真二 ,  相川 晴彦
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993169259
Publication number (International publication number)：1994265743
Application date： Jul. 08, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ガラス化した膜に不均質が生じるのを抑えて伝送損失の増大を抑える。【構成】 本発明の光導波路の作製方法は、石英を主成分とするコアとこれを囲むクラッド層とを備える光導波路を、火炎堆積法によるガラス微粒子層の堆積と該ガラス微粒子層の透明化とによって形成する。この場合、本作製方法では、クラッド層となるべきガラス微粒子層を堆積する際に、火炎バーナへのリンの供給量を経時的に増加させる工程を備えることとしている。そして、この工程で、はじめに火炎バーナへリンの供給をしないでガラス微粒子層を堆積した後に、リンの供給をしてガラス微粒子層を堆積することによって、コア付近に異物が発生するのをも抑えることができる。

Claim (excerpt)：

石英を主成分とするコアとこれを囲むクラッド層とを備える光導波路を、火炎堆積法によるガラス微粒子層の堆積と該ガラス微粒子層の透明化とによって形成する光導波路の作製方法において、前記クラッド層となるべきガラス微粒子層を堆積する際に、火炎バーナへのリンの供給量を経時的に増加させる工程を備えることを特徴とする光導波路の作製方法。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  C03B 8/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-344603
  
• ガラス導波路の製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-033308   Applicant：日立電線株式会社
• 特開平4-344603