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J-GLOBAL ID：200903071116368145

プローバ用インターフェースカード

Inventor： 別所 嘉行 ,  赤間 秀雄 ,  曽根 規雄
Applicant, Patent owner： 日本ヒューレット・パッカード株式会社
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995157146
Publication number (International publication number)：1996330369
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】ニードル実装部の誘電吸収特性を改善したプローバ用インターフェースカードを提供する。【構成】側部ガード導体23’に高さと深さを設け、ニードル11とその基部の信号パターン12から、隣接するニードル21及びその側部ガード導体23’の間に絶縁部材が存在しないように配置した。

Claim (excerpt)：

測定器と、ウェハー上の端子に接続する複数のニードルを有するプローバ用インターフェースカードにおいて、前記カード基板上に設けられ、前記各ニードルが配置される複数の信号パターンと、前記カード基板上の、前記各信号パターンの両横に配置され、高さ及び深さの少なくとも一方を有するガード導体の壁と、前記各信号パターンの下に配置されたガードパターンを有することを特徴とするインターフェースカード。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073

FI (2)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-222156
  
• 半導体デバイスの検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-116494   Applicant：東京エレクトロン山梨株式会社