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J-GLOBAL ID：200903071218852882

X線装置

Inventor： 近藤 洋行 ,  神高 典明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994046288
Publication number (International publication number)：1995254493
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜を交換する必要がなく、或いは、長期間交換する必要がなく、そのため、運転効率が格段に向上するX線装置を提供する。【構成】 少なくとも、標的材料への量子線照射によりX線を発生するX線源を有するX線発生手段と該X線源とX線被照射物又はX線光学素子との間に設けた遮蔽手段100 であって、前記X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜101 を有する遮蔽手段100 と、該X線透過性膜101 を加熱して、該X線透過性膜101 により捕獲された前記蒸発、飛散物質を蒸発させる加熱手段105 と、からなるX線装置。

Claim (excerpt)：

少なくとも、標的材料への量子線照射によりX線を発生するX線源を有するX線発生手段と該X線源とX線被照射物又はX線光学素子との間に設けた遮蔽手段であって、前記X線源から発生するX線と共に放出される前記標的材料の蒸発物質及び/又は飛散物質を捕獲するX線透過性膜を有する遮蔽手段と、該X線透過性膜を加熱して、該X線透過性膜により捕獲された前記蒸発、飛散物質を蒸発させる加熱手段と、からなるX線装置。

IPC (2)：

H05G 1/00 ,  H05G 2/00

FI (2)：

H05G 1/00 C ,  H05G 1/00 J