カラーフィルターの製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994008386
Publication number (International publication number)：1995218717
Application date： Jan. 28, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【構成】透明基板上に金属遮光層、画素および透明保護膜を順次形成するカラーフィルタの製造工程において、前記透明基板上に前記金属遮光層を形成し前記画素を形成した後、前記金属遮光層表面をエッチングし、続いて前記透明保護膜を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。【効果】金属遮光層表面に形成される透明保護膜の金属遮光層に対する密着性を悪化させる原因であると推定される金属酸化物や有機物の薄膜を、除去することができ、透明保護膜の金属遮光層に対する密着性を向上させる。

Claim (excerpt)：

透明基板上に金属遮光層、画素および透明保護膜をこの順にに設けたカラーフィルターの製造方法であって、前記透明基板上に前記金属遮光層および前記画素を順次形成した後、前記金属遮光層表面をエッチング処理し、続いて前記透明保護膜を設けることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 , C08G 77/26 NUJ , G02F 1/1335 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

カラーフイルタ用ブラツクマスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-289577 Applicant：富士通株式会社
カラーフイルタの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-252028 Applicant：富士通株式会社
特開平4-032583

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