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J-GLOBAL ID：200903071300903428

研磨剤組成物

Inventor： 岡島 泰三 ,  森永 均 ,  牛木 豊廣 ,  伊藤 敏男 ,  小島 純夫
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992097217
Publication number (International publication number)：1993271647
Application date： Mar. 24, 1992
Publication date： Oct. 19, 1993
Summary：

【要約】【構成】 1次粒子の形状が角状で、平均1次粒子径が2μm以下で、しかもα相含有率が10〜80%であるアルミナを砥粒成分として含有してなる研磨剤組成物。【効果】 本発明の研磨剤組成物によれば、極めて高い研磨速度と良好な表面状態が得られ、研磨加工能率が良好である。

Claim (excerpt)：

1次粒子の形状が角状で、平均1次粒子径が2μm以下で、しかも、α相含有率が10〜80%であるアルミナを砥粒成分として含有してなる研磨剤組成物。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-277683
  
• 特開平3-234785