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J-GLOBAL ID:200903071308638570

位置検出型X線検出方法及び検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大塚 忠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995311716
Publication number (International publication number):1997113628
Application date: Oct. 17, 1995
Publication date: May. 02, 1997
Summary:
【要約】【課題】 ガス比例計数管より安定で、保守が不要であり、しかも高感度、高位置分解能の位置検出型のX線検出器を提供する。【解決手段】 X線及び光の入射により入射位置情報及びその強度情報としての電気信号を発する半導体素子2の表面に、シンチレータ層3を形成して、X線検出器1を構成する。入射するX線のうち高エネルギのものは、直接半導体素子2で検知し、低エネルギのものは、シンチレータ層3で光に変換し、この光を半導体素子2で検知し、X線または光の入射位置情報、強度情報としての電気信号を発生させる。半導体素子2は、X線等の電磁波の入射により電子-正孔対による電気パルス信号を生成し、この電気信号から入射位置情報、強度情報を読み出せる。半導体素子2は、X線に対する電子-正孔対の生成効率が高く、高感度、高位置分解能を持ち、また高電圧バイアス、ガスは不要である。半導体素子は、半永久寿命の固体素子であり、特性の劣化がないので保守も不要である。
Claim (excerpt):
波長分散型X線元素分析に用いられるX線の位置検出方法であって、入射するX線をシンチレータで光に変換し、この光を半導体素子に投射し、X線の入射位置情報及び強度情報としての電気信号を発生させるようにしたことを特徴とするX線検出方法。
IPC (3):
G01T 1/20 ,  G01N 23/223 ,  G01T 1/24
FI (3):
G01T 1/20 G ,  G01N 23/223 ,  G01T 1/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 放射線検出装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-031111   Applicant:三井金属鉱業株式会社
  • 放射線2次元検出器
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-213186   Applicant:株式会社島津製作所, 日本放送協会
  • 特開平1-216290
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