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J-GLOBAL ID：200903071670850048
形状パラメータ測定方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995089717
Publication number (International publication number)：1996285570
Application date： Apr. 14, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 自由曲面の形状パラメータを正確かつ安定的に求める測定方法および装置を得。【構成】 接触子を多次元形状の被測定物に接触させ接触子の中心座標からなる形状測定データに対し、数学的な理論形状の位置合わせを行い、形状測定データに対応する理論形状を与える第1段階と異常な形状測定データを除去する第2段階と、理論形状への法線ベクトル及び垂線の足を求め、その法線方向誤差量を算出する第3段階と、法線方向誤差量を補正する第4段階と、理論形状の並進移動量もしくは回転移動量を算出する第5段階と、理論形状を並進、もしくは回転せしめる第6段階と、予め設定した値とを比較判断する第7段階と、比較判断された結果により、再度第3、第4、第5、第6、第7段階を繰り返す第8段階と、比較判断された結果により、その時の形状パラメータを算出する第9段階とから、直接的に接触子の有効半径と真球度を補正した形状パラメータを求める。
Claim (excerpt)：
接触子を多次元形状の被測定物に接触させることによって得られる、接触子の中心座標からなる形状測定データに対し、その数学的な理論形状の位置合わせを行うことによって、前記多次元形状の形状パラメータを求める測定方法において、前記形状測定データに対応する前記理論形状を与える第1段階と、前記形状測定データの中から異常な形状測定データを除去する第2段階と、前記形状測定データの前記理論形状への法線ベクトル及び垂線の足を求め、更にその法線方向誤差量を算出する第3段階と、前記算出された結果から、接触子と理論形状との接触点および接触子の真球度の補正量を算出し、その時の法線方向誤差量を補正する第4段階と、前記形状測定データと前記理論形状との間の法線方向誤差が小さくなるように、前記理論形状の並進移動量もしくは回転移動量を算出する第5段階と、前記並進移動量もしくは回転移動量をもって、前記理論形状を並進、もしくは回転せしめる第6段階と、前記並進移動量もしくは前記回転移動量と、予め設定したこれらの値とを比較判断する第7段階と、前記第7段階において比較判断された結果により、再度前記第3、第4、第5、第6、第7段階を繰り返す第8段階と、前記第7段階において比較判断された結果により、その時の形状パラメータを算出する第9段階とから、直接的に接触子の有効半径と真球度を補正した形状パラメータを求めることを特徴とする多次元形状の形状パラメータ測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 21/20 Z
, G06F 15/31 Z
