Pat
J-GLOBAL ID:200903071709653032

光学基板の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 船橋 國則
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996341276
Publication number (International publication number):1998142589
Application date: Dec. 20, 1996
Publication date: May. 29, 1998
Summary:
【要約】【課題】 不要光の入射を防止できる光学基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明は、基板ガラス上に高屈折率透明接着剤4を塗布し、その上からスタンパSを押し付けた後に仮硬化させる工程と、スタンパSを外して高屈折率透明接着剤4を本硬化してマイクロレンズアレイ部MRとするとともに、少なくともその周辺にブラックマスクを形成する工程と、少なくともマイクロレンズアレイ部MRを構成した高屈折率透明接着剤4に、その屈折率とは異なる屈折率の他の透光性接着剤を介してカバーガラスを貼り合わせ、カバーガラスまたは基板ガラスを所定の厚さにする工程とから成る光学基板の製造方法である。
Claim (excerpt):
基台上にフォトレジストを塗布し、該フォトレジストにフォトリソグラフィーとリフローとを施してレンズアレイ部となる複数の凸部を形成する工程と、前記フォトレジスト上に金属層を被着するとともに、該金属層へ接着剤を介して支持台を貼り付ける工程と、前記金属層を前記支持台とともに前記基台から剥がし、該金属層によって前記複数の凸部が反転した凹部を備えているスタンパを形成する工程と、基板ガラス上に透光性接着剤を塗布し、該透光性接着剤の上から前記スタンパの前記金属層にて構成される凹部を押し付けた後、該透光性接着剤を仮硬化させる工程と、前記スタンパを外し、前記透光性接着剤を本硬化して該スタンパの前記金属層にて構成される凹部の形状が該透光性接着剤に転写されて成る凸部を前記レンズアレイ部とするとともに、少なくとも該レンズアレイ部の周辺に遮光膜を形成する工程と、少なくとも前記レンズアレイ部を構成した前記透光性接着剤に、該透光性接着剤の屈折率とは異なる屈折率の他の透光性接着剤を介してカバーガラスを貼り合わせ、該カバーガラスまたは前記基板ガラスを所定の厚さにする工程とから成ることを特徴とする光学基板の製造方法。
IPC (3):
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530 ,  G09F 9/30 310
FI (3):
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335 530 ,  G09F 9/30 310
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
Show all

Return to Previous Page