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J-GLOBAL ID：200903071717390601

ノルボルナンラクトン構造を有する重合性化合物及び重合体

Inventor： 三輪 拓也 ,  岡 信行 ,  金子 正雄
Applicant, Patent owner： 丸善石油化学株式会社
Agent (1)： 有賀 三幸 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999239968
Publication number (International publication number)：2001064325
Application date： Aug. 26, 1999
Publication date： Mar. 13, 2001
Summary：

【要約】【解決手段】 次の一般式(1)【化1】〔式中、R1 及びR2 のいずれか一方は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、他方は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、R3 〜R9 は、1価の非重合性基を示し、Aは重合可能な炭素-炭素二重結合を有する基を示す。〕で表わされる重合性化合物、これ単独又はこれと共重合可能な化合物とのポリマー及び該ポリマーを含むレジスト組成物。【効果】 短波長の露光光源用のレジスト材料のベースポリマーとして有用である。

Claim (excerpt)：

次の一般式(1)【化1】〔式中、R1 及びR2 のいずれか一方は、炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、他方は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、R3 〜R9 は、それぞれ独立して水素原子、シリル基、シアノ基、水酸基、ハロゲン原子又は1価の非重合性有機置換基を示し、Aは重合可能な炭素-炭素二重結合を有する基を示す。〕で表わされる重合性化合物。

IPC (4)：

C08F 20/28 ,  C07D307/77 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14

FI (4)：

C08F 20/28 ,  C07D307/77 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14

F-Term (22)：

4C037EA07 ,  4J002BG071 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU186 ,  4J002EV246 ,  4J002FD206 ,  4J002GP00 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AE04Q ,  4J100AE29Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ03Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AR11Q ,  4J100BC08P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA36 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 新規なラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパタ-ン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-255167   Applicant：信越化学工業株式会社