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J-GLOBAL ID:200903071904652610
固体樹脂の製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
久保山 隆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001293408
Publication number (International publication number):2002201210
Application date: Sep. 26, 2001
Publication date: Jul. 19, 2002
Summary:
【要約】【課題】 析出した樹脂と有機溶媒(A)と溶媒(B)からなるスラリーを濾過等による手段で単離するときの操作が容易で、かつ、電子回路パターンをシリコンウエハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物用の高品質の固体樹脂を製造する方法を提供すること。【解決手段】 単数又は複数の原料化合物を、有機溶媒(A)の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒(A)と上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)からなるスラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方法。
Claim (excerpt):
単数又は複数の原料化合物を有機溶媒(A)の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒(A)と溶媒(B)からなるスラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方法。
IPC (3):
C08F 6/06
, C08F 2/06
, C08F 20/10
FI (3):
C08F 6/06
, C08F 2/06
, C08F 20/10
F-Term (11):
4J011HA03
, 4J011HB05
, 4J100AL02P
, 4J100CA04
, 4J100FA19
, 4J100FA30
, 4J100GC07
, 4J100GC17
, 4J100GC29
, 4J100GC35
, 4J100JA38
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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