プラズマ発生装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999302259
Publication number (International publication number)：2001127533
Application date： Oct. 25, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】指向性電磁波を板状プラズマ鏡にて反射させ、板状プラズマ鏡の角度を変えることにより指向性電磁波の反射方向を変えるようにした板状プラズマ発生装置において、簡単な構成で板状プラズマ鏡の角度制御を行う。【解決手段】真空容器1と、複数の電極から構成される陽極2および陰極3と、陽極2および陰極3に高電圧を印加する電源4と、陽極2および陰極3内の高電圧を印加する電極を切り替える切替器7a,7bを備え、切替器7a,7bにより電極の組合せを切り替えることにより、指向性電磁波に対し任意の角度の板状プラズマを形成する。

Claim (excerpt)：

チャンバと、前記チャンバ内に設置され、複数の第1電極を含む陽極と、前記チャンバ内に設置され、複数の第2電極を含む陰極と、前記第1および第2電極に電圧を印加することにより、指向性電磁波を反射する板状プラズマを生成するための電源と、前記第1および第2電極に前記電源からの電圧を切り替えて印加することにより、前記板状プラズマの角度や形状を変化させるための第1および第2切替手段と、を備えたプラズマ発生装置。

IPC (4)：

H01Q 15/14 , H01Q 3/16 , H01Q 19/10 , H05H 1/24

FI (4)：

H01Q 15/14 Z , H01Q 3/16 , H01Q 19/10 , H05H 1/24

F-Term (14)：

5J020AA03 , 5J020BA06 , 5J020BC02 , 5J020BC03 , 5J020CA02 , 5J020DA10 , 5J021AA01 , 5J021DA02 , 5J021DA03 , 5J021DA04 , 5J021DA05 , 5J021DA07 , 5J021GA02 , 5J021HA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

板状プラズマの生成法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-248540 Applicant：株式会社日本製鋼所

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

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