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J-GLOBAL ID：200903071999783112

撮像素子検査装置

Inventor：
藤田 義之

About 藤田 義之


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004364293
Publication number (International publication number)：2006170830
Application date： Dec. 16, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：
【課題】変調光に対する撮像素子の応答を検査することのできる撮像素子検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】光源から射出された光は可変カラーフィルタ、色温度フィルタ、NDフィルタを通過して所定の色、強度の光に調整される。所定の色、強度に調整された光は、投射レンズにより撮像素子に照射され、撮像素子の性能が検査される。 光源は、撮像素子の1フィールドまたは1フレームのスキャンに同期した信号で制御され、1フィールドまたは1フレーム内で、所定時間光源が点灯する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
撮像素子に照射する光を射出する光源と、 前記撮像素子の1フィールドまたは1フレーム内で、所定時間前記光源を点灯させる光源駆動装置とを有すること を特徴とする撮像素子検査装置。
IPC (6)：
G01M 11/00 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H04N 17/00 ,  H01L 27/148 ,  H01L 27/14
FI (6)：
G01M11/00 T ,  G01R31/26 E ,  H01L21/66 X ,  H04N17/00 K ,  H01L27/14 B ,  H01L27/14 Z
F-Term (19)：
2G003AA09 ,  2G003AA10 ,  2G003AH00 ,  2G003AH05 ,  2G086EE01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DH16 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118GC07 ,  4M118GC11 ,  5C061BB01 ,  5C061CC01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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