Pat
J-GLOBAL ID：200903072284483118
エッチング液成分の濃度測定装置および濃度測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007180422
Publication number (International publication number)：2009019877
Application date： Jul. 10, 2007
Publication date： Jan. 29, 2009
Summary：
【課題】基板を搬送しながら基板に対しエッチング液を循環させつつ供給してエッチング処理する場合に、エッチング液成分の濃度を正確に測定できる装置を提供する。【解決手段】エッチング液の循環経路の途中でエッチング液の一部をサンプリング液として取り出し、サンプリング用配管44を通してサンプリング液を硝酸濃度モニタ52内へ導く。硝酸濃度モニタ52において、吸光光度計によりサンプリング液の吸光度を計測し、濃度管理用のパソコン54により、計測された吸光度からサンプリング液中の硝酸濃度を算出する。装置管理用のパソコン62から濃度管理用のパソコン54へ送られる、基板のエッチング処理枚数の情報に基づいて、マスキング剤の添加量を算出し、供給ユニット58により、算出された量のマスキング剤をサンプリング液中に添加し、エッチング処理に伴って基板上から溶出したアルミニウム成分をマスキングする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
1枚ずつ順次搬送される基板に対して循環しつつ供給されるエッチング液の特定成分の濃度を測定するエッチング液成分の濃度測定装置において、
エッチング液の循環経路の途中でエッチング液の一部をサンプリング液として取り出す抽出手段と、
前記サンプリング液の、特定波長での吸光度を計測する吸光光度計と、
この吸光光度計によって計測された吸光度から前記サンプリング液中の特定成分の濃度を算出する濃度算出手段と、
エッチング液によりエッチングされて基板上から溶出した成分をマスキングするマスキング剤を、前記サンプリング液に添加する添加手段と、
この添加手段により前記サンプリング液に添加されるべきマスキング剤の適当量を算出する添加量算出手段と、
この添加量算出手段によって算出された適当量のマスキング剤を前記サンプリング液に添加するように前記添加手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング液成分の濃度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (18)：
2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059CC03
, 2G059CC05
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059MM01
, 2G059MM10
, 2G059PP06
, 5F043AA24
, 5F043BB16
, 5F043DD13
, 5F043EE07
, 5F043EE21
, 5F043EE23
, 5F043EE28
