三次元測定装置及び携帯型計測器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：小谷悦司 , 伊藤孝夫 , 樋口次郎 , 平田晴洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007124870
Publication number (International publication number)：2008281399
Application date： May. 09, 2007
Publication date： Nov. 20, 2008
Summary：

【課題】反射コート材を塗布せずとも、半透明部分を含む被測定物の三次元形状を正確に計測することができるようにする。【解決手段】非偏光の入射光が一定の入射角をもって試料面に入射したとき、その表面反射光はS偏光となり、内部散乱光は非偏光となる。そこで、表面反射光及び内部散乱光が受光部で受光される光路上に、P偏光成分を吸収することが可能な直線偏光板を配置する。これにより、表面反射光と内部散乱光のS偏光成分とが受光される状態を形成することができる。つまり、内部散乱光だけを減衰させた状態で、表面反射光に由来するS偏光を受光部で受光させることができる。【選択図】図10

Claim (excerpt)：

被測定物の三次元形状を計測する三次元測定装置であって、非偏光の測定光を前記被測定物に向けて照射する投光手段と、前記測定光を含む前記被測定物からの反射光を受光する受光手段と、前記投光手段から前記被測定物を経由して前記受光手段に至る前記測定光の光路上に配置され、前記反射光のうち前記被測定物の内部で反射された散乱光を減衰させる一方で、前記被測定物の表面で反射された表面反射光に由来する偏光を前記受光手段へ導く光学部品と、を具備することを特徴とする三次元測定装置。

IPC (1)：

G01B 11/24

FI (1)：

G01B11/24 K

F-Term (34)：

2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA53 , 2F065BB23 , 2F065BB27 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF05 , 2F065FF09 , 2F065FF49 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065HH05 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL08 , 2F065LL10 , 2F065LL13 , 2F065LL28 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065MM16 , 2F065PP25 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065SS02 , 2F065SS13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

三次元形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-066200 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特公昭63-17281号公報

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