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J-GLOBAL ID：200903072483433456

アルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体およびその製造方法並びにその用途

Inventor： 小川 展弘 ,  白倉 義法 ,  毛利 隆
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994050163
Publication number (International publication number)：1995258836
Application date： Mar. 22, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】【構成】 密度5.6g/cm3〜5.77g/cm3、焼結粒径2μm〜50μm、アルミニウム成分の最大分散凝集径が5μm以下、アルミニウムの含有量が酸化アルミニウム換算で0.5重量%以上、抵抗率1×10-2Ωcm以下のアルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体およびこの焼結体からなるスパッタリングターゲット。【効果】 ターゲット-基板間距離が長くなったとしても膜の導電性が大きく低下せず、かつ、低抵抗な膜が得られる。

Claim (excerpt)：

密度5.6g/cm3〜5.77g/cm3、焼結粒径2μm〜50μm、アルミニウム成分の最大分散凝集径が5μm以下、アルミニウムの含有量が酸化アルミニウム換算で0.5重量%以上、抵抗率1×10-2Ωcm以下のアルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体。

IPC (5)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/453 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 31/04 ,  H01B 13/00 503

FI (2)：

C04B 35/00 P ,  H01L 31/04 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-149459
  
• 特開平4-104937
  
• 特開平4-219359
  
• 酸化亜鉛系スパッタリング用ターゲット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-180352   Applicant：三菱マテリアル株式会社