陽極結合用ガラス被覆体の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西脇民雄
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996521975
Publication number (International publication number)：1998512229
Application date： Jan. 17, 1996
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】本発明は、陽極結合方法、及び、陽極結合のためのガラス被覆体生成方法、及び、この目的を果たすために適切なコロイド溶液に関する。この方法は、特に、100nm〜10μmの厚さを有するガラス被覆体に関する陽極結合に適用される。必要なガラス被覆体を生成するために、n-アルカノール(n=1〜5)のうちの少なくとも一つ、又は、それらの混合物中で、SiO2ゾルが溶解される。その後、テトラエチルオルトケイ酸塩(TEOS)、メチルトリエトキシシラン(MTEOS)、及び、水が、このオルガノゾルに加えられる。更に、少量の酸が適量のアルカリ塩に加えられ、コロイド溶液が少なくとも部分的に重合される。このようにして得られたコロイド溶液は、コスト的に有利な方法として、液浸、スピン・オン沈殿、又は、噴霧等、及び、これに引き続いて焼戻しの処理が行われることにより、電導材料の被覆体に適したものとなる。被覆処理を一回行うことにより、2μmまでの厚さを有するガラス被覆体が得られる。また、この方法を複数回繰り返せば、10μmを越える被覆体厚さが得られる。

Claim (excerpt)：

アルカリ含有ガラス被覆体を電気伝導材料に施し、他の既知の方法で電流を用いることにより、続いて前記ガラス被覆体を前記電気伝導材料と結合することにより、アルカリ含有ガラスの該電気伝導材料への陽極結合方法において、前記アルカリ含有ガラス被覆体を該電気伝導材料に施させるために、SiO2オルガノゾルが、nの値が1〜5である複数のn-アルカノールのうちの一つ、又は、それらの混合物中で生成され、TEOS(テトラエチルオルトケイ酸塩)及び/又はMTEOS(メチルトリエトキシシラン)と、少量の酸とが、前記オルガノゾルに加えられ、前記酸が加えられた後、水とアルカリ塩が加えられ、その後、該溶液は、少なくとも部分的に重合され、その後、前記溶液は、他の既知の方法で該電気伝導材料に施され、前記被覆体は、乾燥され、硬化されることを特徴とするアルカリ含有ガラスの電気伝導材料への陽極結合方法。

IPC (3)：

C03C 29/00 , C03B 8/02 , H01L 21/316

FI (3)：

C03C 29/00 , C03B 8/02 A , H01L 21/316 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

振動型アクチユエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-215389 Applicant：株式会社リコー
薄膜磁気ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-290195 Applicant：三洋電機株式会社
特開平1-215728

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