Pat

J-GLOBAL ID：200903072711549559

石英ガラス、それを含む光学部材、並びにその製造方法

Inventor： 平岩 弘之 ,  小峯 典男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996000809
Publication number (International publication number)：1997002828
Application date： Jan. 08, 1996
Publication date： Jan. 07, 1997
Summary：

【要約】【目的】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射しても透過率の低下を生じさせない、耐紫外線性の向上した石英ガラス光学部材を提供する。【構成】 400nm以下の特定波長帯域で使用される石英ガラス光学部材において、構造決定温度を1200K以下とする。

Claim (excerpt)：

400nm以下の波長帯域の光と共に使用される石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつ水素分子濃度が1×1017molecules/cm3以上であることを特徴とする石英ガラス。

IPC (6)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03C 3/06 ,  C03C 23/00 ,  G02B 1/00

FI (6)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03C 3/06 ,  C03C 23/00 D ,  G02B 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 紫外線照射による歪が抑制された石英ガラス部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-164040   Applicant：株式会社ニコン