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J-GLOBAL ID：200903084108937488

紫外線照射による歪が抑制された石英ガラス部材

Inventor： 小峯 典男 ,  平岩 弘之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995164040
Publication number (International publication number)：1997012324
Application date： Jun. 29, 1995
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射によってもレンズの結像性能を劣化させない石英ガラス光学部材を提供する。【構成】 水素分子を1×1017molecules/cm3以上含有する理想的な構造を持ち、ArFエキシマレーザをワンパルスエネルギー密度50mJ/cm2で5×106ハ ゚ルス照射した後の部材に発生する波長633nmにおける最大歪量が10nm/cm以下である石英ガラス光学部材を、ステッパ等の紫外線光学系に用いる。

Claim (excerpt)：

ArFエキシマレーザを平均ワンパルスエネルギー密度50mJ/cm2で5×106パルス照射した後に発生する、波長633nmにおける最大歪量が10nm/cm以下であることを特徴とする石英ガラス光学部材。

IPC (4)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  G02B 1/00

FI (4)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  G02B 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 光リソグラフィ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-323264   Applicant：信越石英株式会社
• エキシマレーザー用合成石英ガラス光学部材及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-210622   Applicant：信越石英株式会社
• 光学用合成石英ガラス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-360334   Applicant：日本石英硝子株式会社, 山口日本石英株式会社
• 光学用合成石英ガラス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-093951   Applicant：日本石英硝子株式会社, 山口日本石英株式会社
• 耐紫外線レーザー用光学部材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-343507   Applicant：信越石英株式会社
• 石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された 石英ガラス部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-201343   Applicant：株式会社ニコン
• エキシマレーザリソグラフィー用合成石英マスク基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-190143   Applicant：信越化学工業株式会社, 信越石英株式会社
• 合成石英ガラス部材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-100808   Applicant：信越化学工業株式会社, 信越石英株式会社