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J-GLOBAL ID:200903072802198910
可視露光可能な耐サンドブラスト性感光性樹脂組成物、およびこれを用いたドライフィルム、並びにこれらを用いた被処理体の切削方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 洋子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997116170
Publication number (International publication number):1998293400
Application date: Apr. 18, 1997
Publication date: Nov. 04, 1998
Summary:
【要約】【課題】 可視光によって直接描画露光することができる耐サンドブラスト性感光性樹脂組成物を用いて、被処理体を簡便かつ低コストで切削する方法を提供する。【解決手段】 (a)2個以上の(メタ)アクリロイル基をもつ光重合可能なウレタン(メタ)アクリレート化合物、(b)酸価50〜250mg/KOHのアルカリ可溶性高分子化合物、(c)光重合開始系成分として?@チタノセン化合物、?Aアクリジン化合物、トリアジン化合物から選ばれる少なくとも1種、さらに好ましくは?Bローダミン系化合物またはクマリン系化合物、および所望により(d)光重合性単量体を含有する可視露光可能な耐サンドブラス性感光性樹脂組成物、またはこれを用いたドライフィルムをマスク材として、被処理体をサンドブラスト処理により切削する。
Claim (excerpt):
(a)少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を有する光重合可能なウレタン(メタ)アクリレート化合物、(b)酸価が50〜250mg/KOHであるアルカリ可溶性高分子化合物、および(c)光重合開始系成分として、(c-1)チタノセン化合物と、(c-2)アクリジン化合物およびトリアジン化合物の中から選ばれる少なくとも1種、を含有してなる、可視露光可能な耐サンドブラスト性感光性樹脂組成物。
IPC (4):
G03F 7/027 513
, G03F 7/029
, G03F 7/40 521
, H01J 11/02
FI (4):
G03F 7/027 513
, G03F 7/029
, G03F 7/40 521
, H01J 11/02 B
Patent cited by the Patent: