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J-GLOBAL ID:200903072870110207
磁気記録媒体とその製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
舘野 千惠子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001143566
Publication number (International publication number):2002342908
Application date: May. 14, 2001
Publication date: Nov. 29, 2002
Summary:
【要約】【課題】 樹脂製の基板を使って、室温程度の基板温度で製造可能であり、高保磁力、および高いS/N比を実現した高密度記録に適する磁気記録媒体、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 樹脂製の基板上にCo-Pt-Crを主体としてSi酸化物を含有する磁性膜を、前記Si酸化物の含有量がSi原子に換算して、Co-Pt-Crに対して8原子%以上、16原子%以下とするように形成し、結晶間相互作用を低減する。また、前記樹脂製の基板上に前記磁性膜を形成する際、ガス圧を0.133Pa以上、2.66Pa以下としたチャンバー内でスパッタリング法により、樹脂製の基板を非加熱状態で成膜する。
Claim (excerpt):
基板上にCo-Pt-Crを主体とし、Si酸化物を含有する磁性膜が形成され、前記Si酸化物の含有量がSi原子に換算して、Co-Pt-Crに対して8原子%以上、16原子%以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (4):
G11B 5/64
, G11B 5/65
, G11B 5/73
, G11B 5/851
FI (4):
G11B 5/64
, G11B 5/65
, G11B 5/73
, G11B 5/851
F-Term (16):
5D006BB02
, 5D006BB06
, 5D006BB07
, 5D006CB01
, 5D006CB07
, 5D006DA03
, 5D006EA03
, 5D006FA09
, 5D112AA02
, 5D112AA05
, 5D112AA24
, 5D112BA01
, 5D112BA10
, 5D112BB05
, 5D112FA04
, 5D112FB20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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磁気記録媒体および製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-285451
Applicant:エイ・ジー・テクノロジー株式会社
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磁気ディスクの作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-218430
Applicant:株式会社日立製作所, 日立マクセル株式会社
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