投影露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：曾我道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991326158
Publication number (International publication number)：1993159999
Application date： Dec. 10, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】均一な照明を行うと共に照明光のパワーロスの軽減を図る。【構成】ランプハウス21から発せられたインコヒーレント光は多面体プリズム23により複数の光束L1、L2及びL3に分割された後、集光レンズ26及び27等によりマスク29上に重ねて照射される。

Claim (excerpt)：

インコヒーレント光を発する光源と、前記光源から発した光を複数の光束に分割する多面体プリズムと、前記多面体プリズムにより分割された複数の光束をそれぞれ回路パターンが形成されているマスク上に重ねて照射させる集光レンズ系と、前記マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズ系とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

投影露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-238121 Applicant：株式会社ニコン

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