放射線感光材料およびそれを用いるパターン形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青木朗 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992053726
Publication number (International publication number)：1993257284
Application date： Mar. 12, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】電離放射線に対して透明性が優れ、かつ、十分なドライエッチング耐性をもつ放射線用感光材料を提供する。【構成】エステル部にノルボルナン骨格を有するアクリル酸エステルまたはα置換アクリル酸エステルの重合体または前記エステルの共重合体からなる放射線感光材料を用いる。

Claim (excerpt)：

エステル部にノルボルナン骨格を有するアクリル酸エステルまたはα置換アクリル酸エステルの重合体または前記エステルの共重合体からなる放射線感光材料。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/027 502 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-097516
特開昭57-052050
特開昭63-314219

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