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J-GLOBAL ID：200903073112936591
ウェーハの研磨方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997095775
Publication number (International publication number)：1998286750
Application date： Apr. 14, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】ウェーハメイキングにおけるウェーハのうねりを完全に除去し、表面及び裏面が平坦なウェーハを形成する。【解決手段】研磨装置のチャックテーブルとウェーハとの間にうねり吸収体を介在させ、当該うねり吸収体がウェーハのうねりを完全に吸収した状態で研磨を行う。
Claim (excerpt)：
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに対峙して配設された研磨砥石とを含む研磨装置を用い、インゴットから切り出されたウェーハを前記チャックテーブルに保持し、前記研磨砥石によって前記ウェーハを研磨するウェーハの研磨方法であって、前記チャックテーブルと前記ウェーハとの間には、該ウェーハに形成されたうねりを吸収するうねり吸収体を介在させ、該うねり吸収体をチャックテーブルに保持して前記ウェーハの表面を前記研磨砥石によって研磨するウェーハの研磨方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B24B 7/22 Z
, B24B 1/00 A
Cited by examiner (6)
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