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J-GLOBAL ID:200903073146236360

基板上での金属炭化物由来ナノロッドの合成/成長方法、それによって得られる基板およびその用途

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2004559844
Publication number (International publication number):2006508888
Application date: Dec. 04, 2003
Publication date: Mar. 16, 2006
Summary:
本発明は、基板上で金属M1の炭化物からナノロッドを合成する方法に関する。該発明の方法は、(a)基板上での、金属M1の酸化物のナノ結晶および金属M1とは異なる少なくとも1種の金属M2の酸化物のナノ結晶の層(M1金属酸化物ナノ結晶は、この層に分散している)を蒸着させるステップ、(b)金属M1およびM2の酸化物ナノ結晶を対応する金属に還元するステップ、および(c)金属M1のナノ結晶を選択的に成長させるステップよりなる。本発明は、また、基板上で前記材料のナノ結晶から金属M1の炭化物のナノロッドを成長させる方法、かくして得られた基板、およびそれらの用途、例えば化学的または生物学的機能性を含むミクロシステム、特にバイオセンサー、例えばフラットテレビまたはコンピュータスクリーンなどのための電子放射源の製造における用途にも関する。
Claim (excerpt):
基板上で1種の金属M1の炭化物のナノロッドを合成する方法であって、以下のステップ、 a)基板上に、金属M1の酸化物のナノ結晶および金属M1とは異なる少なくとも1種の金属M2の酸化物のナノ結晶を含む層(M1金属酸化物ナノ結晶は、この層に分散している)の蒸着、 b)M1およびM2金属酸化物ナノ結晶の対応する金属ナノ結晶への還元、および c)M1金属ナノ結晶の選択的成長 を含む方法。
IPC (4):
C01B 31/30 ,  B82B 3/00 ,  C01B 31/34 ,  C23C 14/35
FI (4):
C01B31/30 ,  B82B3/00 ,  C01B31/34 ,  C23C14/35 F
F-Term (22):
4G146MA06 ,  4G146MA08 ,  4G146MB02 ,  4G146MB18B ,  4G146MB19B ,  4G146MB27 ,  4G146MB30 ,  4G146NA02 ,  4G146NA12 ,  4G146NB05 ,  4G146NB10 ,  4G146NB12 ,  4G146PA09 ,  4G146QA02 ,  4G146QA04 ,  4G146QA05 ,  4K029BA55 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029DC03 ,  4K029DC15 ,  4K029DC48
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 仏国特許出願第98/00777号明細書
Cited by examiner (3)
  • 特表平4-507394
  • 特表平4-507394
  • 製品の製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2001-045300   Applicant:ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
Article cited by the Patent:
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