パーティクル除去方法及びその装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：浅井章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994308090
Publication number (International publication number)：1996141529
Application date： Nov. 17, 1994
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】【目的】被処理体表面上のパーティクルを吸引除去することができるパーティクル処理装置を提供することにある。【構成】保持台4上に被処理体Wを保持させて、この表面に吸引ノズル32を接近させる。そして、吸引手段6を駆動させることにより吸引ノズルから被処理体表面近傍の気体を吸い込み、この時、表面に付着しているパーティクルPも巻き込んでこれを除去する。

Claim (excerpt)：

被処理体の表面に付着したパーティクルを除去するパーティクル除去装置において、前記被処理体を保持する保持台と、この保持台の上方に位置する吸引ノズルを有する吸引手段とを備え、前記保持台と前記吸引ノズルを相対移動させつつ前記被処理体の表面に付着したパーティクルを除去するように構成したことを特徴とするパーティクル除去装置。

IPC (3)：

B08B 5/00 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

塵埃除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-322974 Applicant：日本電信電話株式会社
異物除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-045924 Applicant：ヤマハ株式会社
特開平4-068527

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