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J-GLOBAL ID:200903073366811497

プラズマディスプレイの隔壁形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995310461
Publication number (International publication number):1997147739
Application date: Nov. 29, 1995
Publication date: Jun. 06, 1997
Summary:
【要約】【課題】 プラズマディスプレイの基板に形成される隔壁において、成分の経時的偏倚を防止して可及的に均質なものが得られるようにする。【解決手段】 プラズマディスプレイの隔壁形成方法は、プラズマディスプレイに用いられる背面側基板10に隔壁11を形成する方法であって、背面側基板10の上方にそれより浸食性能が低いガラス板45を積層した2層構造において、ガラス板45の表面に耐エッチング性を有するフォトレジスト47を塗布し、フォトレジスト47を隔壁に応じた所望のパターンで露光現像し、露光現像されたガラス基板をエッチングしてガラス板45に隔壁11を形成する。
Claim (excerpt):
プラズマディスプレイに用いられるガラス基板に隔壁を形成する方法であって、前記ガラス基板を第1ガラス層とし、その上方に第1ガラス層より浸食性能が低い第2ガラス層を配置した構造において、前記第2ガラス層の表面にフォトレジスト層を形成する工程と、前記フォトレジスト層を前記隔壁に応じた所望のパターンで露光現像する工程と、露光現像されたガラス基板をエッチングして前記第2ガラス層に隔壁を形成する工程と、を含むプラズマディスプレイの隔壁形成方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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