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J-GLOBAL ID：200903073387576269

超音波検査装置、超音波トランスデューサ、検査装置

Inventor：
唐沢 博一

About 唐沢 博一

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中本 正幸

About 中本 正幸

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落合 誠

About 落合 誠

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福田 勝義

About 福田 勝義


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001348282
Publication number (International publication number)：2003149213
Application date： Nov. 14, 2001
Publication date： May. 21, 2003
Summary：
【要約】【課題】 手軽で、手早く検査ができ、高解像度化が可能な超音波検査装置、超音波トランスデューサ、検査装置を提供すること。【解決手段】 超音波トランスデューサを構成する圧電体にチタン酸バリウム(BaTiO3)またはジルコン酸チタン酸鉛(PZT)を用い、厚さを0.1μmないし100μmとする。圧電体層のうち任意のものを駆動可能な駆動部と、駆動された圧電体層が発する超音波による照射対象からのエコーにより複数の圧電体層が発生する電気信号を検出する検出部と、検出された電気信号から照射対象の状態を可視化する処理を行なう処理部とを具備する。
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に形成された共通電極と、前記共通電極上にマトリクス状に独立して複数形成された圧電体層と、前記圧電体層上にそれぞれ形成された複数の上部電極とを有する超音波トランスデューサと、前記上部電極に接続され、前記上部電極から前記圧電体層のうち任意のものを駆動可能な駆動部と、前記上部電極に接続され、前記駆動された圧電体層が発する超音波による照射対象からのエコーにより前記複数の圧電体層が発生する電気信号を前記複数の上部電極から検出する検出部と、前記検出された電気信号から前記照射対象の状態を可視化する処理を行なう処理部とを具備し、前記超音波トランスデューサの前記圧電体層は、チタン酸バリウムまたはジルコン酸チタン酸鉛を有し、かつ、厚さが0.1μmないし100μmであることを特徴とする超音波検査装置。
IPC (6)：
G01N 29/06 ,  B06B 1/06 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/24 502 ,  H04R 1/34 330 ,  H04R 1/34
FI (6)：
G01N 29/06 ,  B06B 1/06 A ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/24 502 ,  H04R 1/34 330 B ,  H04R 1/34 330 Z
F-Term (16)：
2G047AA08 ,  2G047AB07 ,  2G047AC10 ,  2G047BA03 ,  2G047BB04 ,  2G047CA01 ,  2G047CA04 ,  2G047EA01 ,  2G047GB02 ,  2G047GB17 ,  5D019FF04 ,  5D107BB09 ,  5D107CC01 ,  5D107CC12 ,  5D107CC13 ,  5D107FF03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (8)
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