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J-GLOBAL ID：200903073409433807

レーザスキャン光学系及びレーザスキャン光学装置

Inventor：
市江 更治

About 市江 更治


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994121481
Publication number (International publication number)：1996015156
Application date： Jun. 02, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 従来よりも短時間で実行するレーザスキャン光学系及びレーザスキャン光学装置を提供する。【構成】 レーザ1から出射されたレーザ光2は、平面ミラー3、ビームエキスパンダ4、アキシコンペア6、ビームレデューサ9、ダイクロイックミラー11、X-Yスキャナ12、結像レンズ13及び対物レンズ14を介して試料15を照射する。また、試料15の裏面側から出射された蛍光16bは、コンデンサレンズ17及びバリアフィルタ18を介してPMT19aにより検出される。一方、試料15の表面側から出射された蛍光16aは、レーザ光2が通過した光路を逆方向に進行し、ダイクロイックミラー11を介してPMT20aにより検出される。アキシコンペア6は2個のアキシコンプリズム7a,7bから構成され、レーザ光はアキシコンペア6により円筒状光線束8になった後、対物レンズ14によりベッセルビームとなる。
Claim (excerpt)：
平行光として入射したレーザ光の光線束を円筒状に形成する光変換部と、この光変換部から入射した前記レーザ光の進行方向を変動させて走査する光走査部と、この光走査部から入射した前記レーザ光を収束してベッセルビームを生成する光収束部とを備え、前記光変換部は、所定間隔で各頂角を対向または背向するとともに各光軸を一致させて配置され、同一の屈折率を有する材料で同一の頂角角度を有する形状に形成されている2個のアキシコンプリズムから構成されていることを特徴とするレーザスキャン光学系。
IPC (5)：
G01N 21/64 ,  G01N 21/01 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 26/10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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