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J-GLOBAL ID：200903073411772309

インプリント・リソグラフィ

Inventor： ヘルマー ファン サンテン ,  アレクセイ ユリエヴィッチ コレスニーチェンコ ,  ヤコブス ヘルマヌス マリア ナイユツェン ,  エミル ヨハネス カレル フェルステゲン
Applicant, Patent owner： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ ,  コニンクリユケ フィリップス エレクトロニクス エヌ.ブイ.
Agent (4)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  森 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006000979
Publication number (International publication number)：2006203194
Application date： Jan. 06, 2006
Publication date： Aug. 03, 2006
Summary：

【課題】新規のインプリント方法を提供すること。【解決手段】基板上の流動可能な状態にある光硬化性のインプリント可能な媒体を媒体の硬化を開始させる放射によって照射する工程と、照射する工程の後に、媒体をテンプレートに接触させて媒体中にインプリントを形成する工程と、媒体がテンプレートに接触している間、媒体が実質的に流動不可能な状態にあるようにして媒体の実質的な硬化を可能にする工程と、媒体が実質的に流動不可能な状態にある間に、媒体からテンプレートを分離する工程とを有する、インプリント方法が開示される。【選択図】図5a

Claim (excerpt)：

ある量の光硬化性のインプリント可能な媒体を流動可能な状態で基板上に提供する工程と、 前記基板上の流動可能な状態である前記光硬化性のインプリント可能な媒体を前記媒体の硬化を開始させる放射によって照射する工程と、 前記照射する工程の後、前記媒体をテンプレートに接触させて前記媒体中にインプリントを形成する工程と、 前記媒体が前記テンプレートに接触している間、前記媒体が実質的に流動不可能な状態にあるように前記媒体の実質的な硬化を可能にする工程と、 前記媒体が前記実質的に流動不可能な状態にある間に、前記媒体から前記テンプレートを分離する工程を有するインプリント方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  B82B 3/00

FI (2)：

H01L21/30 502D ,  B82B3/00

F-Term (2)：

5F046AA28 ,  5F046CA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 特開昭52-026171
  
• 特開平3-013322
  
• 光デイスクの複製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-329487   Applicant：日本ビクター株式会社
• 特開平3-013322
  
• 特開平3-016720
  
• 特開平3-016720
  
• 記録媒体とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-327115   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭52-026171