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J-GLOBAL ID：200903073423616442

真空アーク蒸発源

Inventor： 三宅 浩二 ,  村上 浩
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001000607
Publication number (International publication number)：2002206162
Application date： Jan. 05, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 点弧機構を改善して、真空アーク蒸発源の運転可能時間を長くすると共に、陰極の有効利用率を高める。【解決手段】 この真空アーク蒸発源12aでは、三つの棒状の点弧電極24を、一つの陰極14の周囲に等分に配置している。かつ、当該点弧電極24を択一的に切り換えて駆動して点弧動作を行わせる制御手段を備えている。この制御手段は、各点弧電極24をそれぞれ駆動する駆動装置28と、陰極14に流れるアーク電流IA を監視する電流計測器32と、このアーク電流IA に基づいて、一つの点弧電極24による点弧の状態が悪いときに、他の一つの点弧電極24をそれ用の駆動装置28によって駆動して点弧動作を行わせる制御を行う制御装置35とを備えている。

Claim (excerpt)：

陽極と陰極との間で真空アーク放電を生じさせて、当該アーク放電によって陰極を蒸発させて陰極物質を含むプラズマを生成する蒸発源であって、前記アーク放電の点弧を行う点弧電極を有する真空アーク蒸発源において、前記点弧電極として、棒状の点弧電極を一つの陰極に対して複数ずつ設け、かつ当該点弧電極を択一的に切り換えて駆動して点弧動作を行わせる制御手段を設けたことを特徴とする真空アーク蒸発源。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  B01J 19/08

FI (2)：

C23C 14/24 F ,  B01J 19/08 H

F-Term (19)：

4G075AA24 ,  4G075AA61 ,  4G075BC03 ,  4G075CA17 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075ED13 ,  4G075EE04 ,  4G075FA08 ,  4G075FB03 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• アーク式蒸発源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-198669   Applicant：日新電機株式会社
• 特開昭62-037365