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J-GLOBAL ID：200903073497078280

3次元形状測定装置

Inventor： 西崎 勝利 ,  冷水 由信 ,  中野 史郎
Applicant, Patent owner： 光洋精工株式会社
Agent (1)： 岸本 瑛之助 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993316709
Publication number (International publication number)：1995012534
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 比較的簡易な構成で、死角緩和の効果が大きい3次元形状測定装置を提供する。【構成】 XYZ直交座標系において、Z軸を中心に回転しうるとともにZ軸方向に移動しうる被測定物ステージ1、XY平面と平行な第1のスリット光10とXZ平面と平行な第2のスリット光11をX軸方向から交互に照射するスリット光源装置2、XY平面に対して所定の仰角をもって配置され第1のスリット光10により被測定物6の表面に形成される光切断線12を撮像する第1のテレビカメラ3、XZ平面に対して所定の仰角をもって配置され第2のスリット光11により被測定物6の表面に形成される光切断線13を撮像する第2のテレビカメラ4、第1および第2のテレビカメラ3、4から出力される2次元画像データに基づいて被測定物6の3次元形状を求めるデータ処理装置5を備える。

Claim (excerpt)：

被測定物にスリット光を照射し、上記スリット光が上記被測定物の表面に当たって形成される光切断線の2次元画像データを変換位置データを用いて3次元形状データに変換する3次元形状測定装置であって、XYZ直交座標系において、被測定物が固定される被測定物ステージ、上記被測定物ステージをZ軸と平行な被測定物回転中心軸を中心に回転させるステージ回転装置、上記被測定物ステージをZ軸方向に移動させるステージ移動装置、XY平面と平行な第1のスリット光とXZ平面と平行な第2のスリット光をX軸方向から交互に照射するスリット光源装置、XY平面に対して所定の仰角をもって配置され上記第1のスリット光により上記被測定物の表面に形成される光切断線を撮像する第1の2次元撮像装置、XZ平面に対して所定の仰角をもって配置され上記第2のスリット光により上記被測定物の表面に形成される光切断線を撮像する第2の2次元撮像装置、および上記第1および第2の撮像装置から出力される2次元画像データに基づいて上記被測定物の3次元形状データを求めるデータ処理装置を備えていることを特徴とする3次元形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭53-119080
  
• 三次元形状計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-225905   Applicant：松下電器産業株式会社