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J-GLOBAL ID:200903073730897203

ガスセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三枝 英二 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997061327
Publication number (International publication number):1998253567
Application date: Mar. 14, 1997
Publication date: Sep. 25, 1998
Summary:
【要約】【課題】操作温度が低く、感度が良好で、選択性に優れ、メンテナンスが容易であるガスセンサを提供することを主な目的とする。【解決手段】1.金属基板上に絶縁性極薄膜および導電性材料からなるガス透過性電極を順次形成したガスセンサ。
Claim (excerpt):
金属基板上に絶縁性極薄膜および導電性材料からなるガス透過性電極を順次形成したガスセンサ。
FI (2):
G01N 27/12 A ,  G01N 27/12 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭59-131152
  • 特開平2-238352

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