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J-GLOBAL ID:200903073752138349
フラットディスプレイパネルの隔壁形成方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
井桁 貞一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995259650
Publication number (International publication number):1997102275
Application date: Oct. 06, 1995
Publication date: Apr. 15, 1997
Summary:
【要約】【課題】 本発明はフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法に関し、均一な膜厚の隔壁材ベタ層と結果的に高さ精度の良い隔壁を簡単な工程で形成して製造工数の削減と低コスト化を図ることを目的とする。【解決手段】 放電領域を区画、又は仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、隔壁形成面積より大きい開口部42a を有し、かつ焼成収縮量を見越した隔壁の高さに相当する板厚の印刷マスク42を用いて隔壁材料のガラスペースト52をガラス基板51上にベタ印刷し、印刷された隔壁材ベタ層53を、該隔壁材ベタ層53に対する加熱温度を中央部領域で高く、その周囲の縁端部領域で低くなるような温度分布で加熱乾燥して均一な膜厚分布の隔壁材ベタ層54と、それをパターニングして結果的に高さ精度の良い隔壁を簡単化した工程により容易に形成するようにしたこと。
Claim (excerpt):
放電領域を区画、または仕切る隔壁が放電空間内に設けられたフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法において、隔壁形成面積より大きい開口部を有する印刷マスクを用いて隔壁材料のガラスペーストをパネル基板上にベタ印刷し、乾燥させた後、該隔壁材ベタ層上に隔壁パターニング用のレジストマスクを設け、該レジストマスクを介して隔壁材ベタ層をパターニングして隔壁を形成することを特徴とするフラットディスプレイパネルの隔壁形成方法。
IPC (4):
H01J 9/24
, H01J 9/02
, H01J 11/00
, H01J 17/49
FI (4):
H01J 9/24 B
, H01J 9/02 F
, H01J 11/00 B
, H01J 17/49 B
Patent cited by the Patent: