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J-GLOBAL ID：200903073884005844

有機発光素子用基板に有機層を蒸着させる装置および方法

Inventor：
松風 紀之

About 松風 紀之


Applicant, Patent owner：
富士電機ホールディングス株式会社

About 富士電機ホールディングス株式会社


Agent (5)： 奥山 尚一 ,  有原 幸一 ,  松島 鉄男 ,  河村 英文 ,  岡本 正之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004307663
Publication number (International publication number)：2006120474
Application date： Oct. 22, 2004
Publication date： May. 11, 2006
Summary：
【課題】 有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着において、部分的な材料劣化や、歩留まり低下、コスト上昇起こすことなく大面積蒸着が可能とする。【解決手段】 有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させる装置であって、真空チャンバー10と、該真空チャンバー内に設けられた、該被処理基板を支持するための基板支持部材と、該真空チャンバー内に該被処理基板と対向するように設けられた、気化すべき有機材料を配するための少なくとも1つの蒸着源12と、該蒸着源に隣接または近接して設けられた、各々独立に温度制御可能な複数の温度制御手段13であって、該温度制御手段の各々の温度制御により、該蒸着源の該被処理基板に対向する面における複数の領域を、各々独立に温度制御可能とする温度制御手段とを備えてなる装置、ならびに有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させる方法が提供される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させる装置であって、 真空チャンバーと、 該真空チャンバー内に設けられた、該被処理基板を支持するための基板支持部材と、 該真空チャンバー内に該被処理基板と対向するように設けられた、気化すべき有機材料を配するための少なくとも1つの蒸着源と、 該蒸着源に隣接または近接して設けられた、各々独立に温度制御可能な複数の温度制御手段であって、該温度制御手段の各々の温度制御により、該蒸着源の該被処理基板に対向する面における複数の領域を、各々独立に温度制御可能とする温度制御手段と を備えてなる装置。
IPC (3)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H01L 51/50
FI (4)：
H05B33/10 ,  C23C14/24 B ,  C23C14/24 C ,  H05B33/14 A
F-Term (15)：
3K007AB03 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA21 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029CA01 ,  4K029DB04 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 有機層蒸着装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-121952   Applicant：イーストマンコダックカンパニー
Cited by examiner (4)
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